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超聲振動磨削原理、優勢、分（fèn）類和發展趨勢
超聲振動（dòng）磨削（xuē）的材料去除機製（zhì）和表麵形成機製
典（diǎn）型航空工（gōng）業難加工材料超聲振動輔助加工現狀
超聲加工降低切削（xuē）力、改善（shàn）粗糙度、降低刀具磨損（sǔn）
碳化矽晶（jīng）圓功率密度高、耐壓高、導熱係數高，是功（gōng）率半導體首選材料（liào），在新能源領域應用越來越廣泛。碳化矽硬度高，采用常規的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動輔助劃片（piàn），極大地提高了生產效（xiào）率。
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