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超聲振動磨削原理（lǐ）、優勢、分類和（hé）發展趨勢
超聲振動（dòng）磨削的材（cái）料去除機（jī）製和（hé）表麵（miàn）形成（chéng）機製（zhì）
典型航空工業難加工（gōng）材料（liào）超聲（shēng）振動輔助加工現狀
超聲（shēng）加工降低（dī）切削力、改善（shàn）粗糙度、降低刀（dāo）具（jù）磨損
碳化矽（guī）晶圓（yuán）功率（lǜ）密度高、耐壓高（gāo）、導熱係數高，是功率半導體首選材料，在新能源領域應用越來越廣泛。碳化矽硬度高，采用常規（guī）的晶（jīng）圓劃片方案，切割速度慢，刀片消（xiāo）耗大。超聲振動輔助劃（huá）片，極大地提高了生產效率。
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